据日本媒体报道，TECHNOVISION公司开始面向平板显示器(FPD)的玻璃衬底，接受以纯水作为干燥媒介物的干燥装置的订单。
该款干燥装置可从装满60至80摄氏度纯水的水槽慢慢吊起衬底，有效利用表面张力，使其处于干燥状态。对此，高比良总经理表示，与使用异丙醇、旋转、风刀等的旧式干燥器相比，能够廉价制造。
据悉，该干燥装置将引入TECHNOVISION公司的全自动遮光膜洗涤器工艺流程中。因为是使用纯水，故不会在衬底上产生污垢。还实现了洗涤后的洗刷功能。在水槽中使用水溢出构造，在干燥过程中即使混入杂质，也可漂浮于表面除去。因为旧式机器在加热纯水时产生的气泡和水蒸气难以消除，故不能进行生产。(责任编辑：许悦)
